0512-4700

טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה

מופיע גם בשם: Micro and nano electronics technologies

החצי הייצורי של מערכות זעירות: ליתוגרפיה, צריבה, שיקוע ואינטגרציה בקנה המידה של המפעלים. משתלב עם MEMS ומכסה גם תכן וגם ייצור.

עודכן ב־2 באוגוסט 2026 · קרנו

סמסטר: לא קבוע
שעות שבועיות: 4ש״ס
נספר כ: בחירה מהפקולטה
תחומי עניין: מערכות זעירות וחומרים

בא אחרי

אישור החוג להנדסת חשמל

פותח

0542-4722מבוא להנדסת מערכות זעירות
מחקר בננוטכנולוגיה

מה הוא מכסה

נושאים

טכנולוגיות ייצור של מעגלים משולבים ושל MEMS
ליתוגרפיה והמזעור שמניע אותה
תהליכי שיקוע שכבות דקות וצריבה
טכניקות ננו-ייצור
אינטגרציית תהליך ותפוקה

תוצאות ששווה לקחת מכאן

Rayleigh resolution
$\mathrm{CD} = k_1 \frac{\lambda}{\mathrm{NA}}, \qquad \mathrm{DOF} = k_2 \frac{\lambda}{\mathrm{NA}^2}$
Deal–Grove oxide growth
$x_{ox}^2 + A\,x_{ox} = B\,(t + \tau)$
Etch selectivity and anisotropy
$S = \frac{R_{\text{film}}}{R_{\text{mask}}}, \qquad A = 1 - \frac{R_{\text{lat}}}{R_{\text{vert}}}$

תשובות קצרות

מתי נלמד הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה?

הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה (0512-4700) נלמד בסמסטר שאינו קבוע מראש, 4 שעות שבועיות, ונספר בקבוצה „בחירה מהפקולטה” בדרישות הבחירה של בית הספר להנדסה מכנית באוניברסיטת תל אביב.

מה צריך לפני 0512-4700?

לפני הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה צריך: אישור החוג להנדסת חשמל.

באילו תוכנות משתמשים בקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה?

הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה נלמד בדרך כלל עם Cleanroom process tooling, L-Edit, TCAD-class simulation.

לאילו תפקידים הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה מכין?

הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה הוא חלק מההכנה לתפקידים: מהנדס MEMS וחיישנים.

באילו תחומי עניין נכלל הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה?

הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה נכלל בתחומי העניין: מערכות זעירות וחומרים.

קורסים קרובים

את הסיכומים אנחנו גם כותבים.

המפה הזו אומרת לכם מה יש בקורס. הסיכומים, התגבורים והאנשים שכבר עשו אותו הם החלק שמקבלים כשמצטרפים.

הצטרפו לקרנו כל הקורסים

פירוטי הנושאים אינם סילבוסים רשמיים. האוניברסיטה מפרסמת תיאור קטלוגי קצר לכל קורס ולא חומר לפי הרצאות, ולכן כל פירוט כאן מתאר מה מלמד קורס בשם הזה, בהיקף הזה ועם דרישות הקדם האלה בבתי ספר להנדסה בכלל, מוצלב מול ספר הלימוד המקובל בתחום. התייחסו לזה כמפה מבוססת ולא כתמליל של ההרצאות.