דילוג לתוכן
כל הקורסים
0512-4700

טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה

מופיע גם בשם: Micro and nano electronics technologies

החצי הייצורי של מערכות זעירות: ליתוגרפיה, צריבה, שיקוע ואינטגרציה בקנה המידה של המפעלים. משתלב עם MEMS ומכסה גם תכן וגם ייצור.

סמסטר
לא קבוע
שעות שבועיות
4ש״ס
נספר כ
בחירה מהפקולטה
תחומי עניין
מערכות זעירות וחומרים

בא אחרי

  • אישור החוג להנדסת חשמל

פותח

מה הוא מכסה

נושאים

  • טכנולוגיות ייצור של מעגלים משולבים ושל MEMS
  • ליתוגרפיה והמזעור שמניע אותה
  • תהליכי שיקוע שכבות דקות וצריבה
  • טכניקות ננו-ייצור
  • אינטגרציית תהליך ותפוקה

תוצאות ששווה לקחת מכאן

  • Rayleigh resolution

    CD=k1λNA,DOF=k2λNA2\mathrm{CD} = k_1 \frac{\lambda}{\mathrm{NA}}, \qquad \mathrm{DOF} = k_2 \frac{\lambda}{\mathrm{NA}^2}

  • Deal–Grove oxide growth

    xox2+A xox=B (t+τ)x_{ox}^2 + A\,x_{ox} = B\,(t + \tau)

  • Etch selectivity and anisotropy

    S=RfilmRmask,A=1−RlatRvertS = \frac{R_{\text{film}}}{R_{\text{mask}}}, \qquad A = 1 - \frac{R_{\text{lat}}}{R_{\text{vert}}}

קורסים קרובים

את הסיכומים אנחנו גם כותבים.

המפה הזו אומרת לכם מה יש בקורס. הסיכומים, התגבורים והאנשים שכבר עשו אותו הם החלק שמקבלים כשמצטרפים.

הצטרפו לקרנוכל הקורסים

פירוטי הנושאים אינם סילבוסים רשמיים. האוניברסיטה מפרסמת תיאור קטלוגי קצר לכל קורס ולא חומר לפי הרצאות, ולכן כל פירוט כאן מתאר מה מלמד קורס בשם הזה, בהיקף הזה ועם דרישות הקדם האלה בבתי ספר להנדסה בכלל, מוצלב מול ספר הלימוד המקובל בתחום. התייחסו לזה כמפה מבוססת ולא כתמליל של ההרצאות.