0542-4722

מבוא להנדסת מערכות זעירות

מופיע גם בשם: Introduction to MEMS

מערכות אלקטרו-מכניות זעירות, מתהליך החדר הנקי ועד מודל ההתקן. אחת מחוזקות המחקר האמיתיות של בית הספר, והקורס הצפוף בתוכנית עם חמש שעות.

סמסטר: סמסטר ב׳
שעות שבועיות: 5ש״ס
נספר כ: בחירה מהמחלקה
תחומי עניין: מערכות זעירות וחומרים · מכטרוניקה ורובוטיקה · מבנים ומכניקה חישובית

בא אחרי

מכניקת המוצקים 1
תורת התנודות (מומלץ)

פותח

מחקר במערכות זעירות ובננוטכנולוגיה

מה הוא מכסה

ייצור

פוטוליתוגרפיה
שיקוע: LPCVD, קיטוב ואידוי
צריבה: רטובה, וצריבה יונית עמוקה
עיבוד מיקרו נפחי מול משטחי, הדבקת פרוסות, LIGA
אינטגרציית תהליך והאילוצים שלה

התקנים ופיזיקה

חוקי קנה מידה, ולמה האינטואיציה מהעולם המקרוסקופי נכשלת
מידול ברכיבים מרוכזים ובתחומי אנרגיה
מכניקה של מבנים זעירים: קורות, לוחות, מאמצים שיוריים
הפעלה אלקטרוסטטית ואי-יציבות pull-in
חישה קיבולית ופיזו-רזיסטיבית
ממירים פיזואלקטריים ותרמיים
מבוא למיקרו-פלואידיקה
ריסון סרט לחוץ, רעש, אריזה
מקרי בוחן: חיישני לחץ, מדי תאוצה, ג׳ירוסקופים, מהודים

תוצאות ששווה לקחת מכאן

Pull-in voltage
$V_{PI} = \sqrt{\frac{8 k g_0^3}{27\,\varepsilon_0 A}}$
Parallel-plate capacitance
$C = \frac{\varepsilon_0 A}{g}$
Piezoresistive response
$\frac{\Delta R}{R} = \pi_l \sigma_l + \pi_t \sigma_t$
Squeeze-film damping
$c \propto \frac{\mu\, w^3 L}{g^3}$

תרשימים ששווה להכיר

תרשימי חתך של רצף התהליך
עקומות מתח pull-in מול תזוזה
סכמות מסרק אלקטרוסטטי וקורה משורגת
צילומי מיקרוסקופ אלקטרונים

קורסים קרובים

את הסיכומים אנחנו גם כותבים.

המפה הזו אומרת לכם מה יש בקורס. הסיכומים, התגבורים והאנשים שכבר עשו אותו הם החלק שמקבלים כשמצטרפים.

הצטרפו לקרנו כל הקורסים

פירוטי הנושאים אינם סילבוסים רשמיים. האוניברסיטה מפרסמת תיאור קטלוגי קצר לכל קורס ולא חומר לפי הרצאות, ולכן כל פירוט כאן מתאר מה מלמד קורס בשם הזה, בהיקף הזה ועם דרישות הקדם האלה בבתי ספר להנדסה בכלל, מוצלב מול ספר הלימוד המקובל בתחום. התייחסו לזה כמפה מבוססת ולא כתמליל של ההרצאות.